全球芯片产业正经历前所未有的动荡，荷兰光刻机巨头ASML的处境尤为艰难。这家曾凭借技术垄断占据行业制高点的企业，如今在中美技术博弈的夹缝中艰难求生。自2022年10月美国商务部对EUV光刻机实施对华禁售令以来，ASML在华业务便陷入持续震荡，其技术优势与市场布局正面临系统性挑战。
作为中国半导体制造的标杆企业，中芯国际早在数年前便从ASML采购了上千台DUV光刻机，其中NXT:1980与NXT:2000系列设备占据主流。这些部署在上海张江、北京亦庄和深圳坪山工厂的核心装备，每月可处理数十万片晶圆，为华为海思、紫光展锐等战略客户提供稳定产能支撑。然而，2023年9月荷兰政府跟进美国制裁，要求ASML对华出口高端DUV需逐案审批，10月美国更将24类半导体设备纳入管制清单，中端DUV亦遭波及。
ASML首席执行官彼得·温宁克在2023年四季度财报会上坦言，中国市场占公司营收比重已逼近30%，2022年对华销售额达49亿欧元。若完全失去中国订单，公司整体订单量将萎缩超20%。现实数据印证了这一预警：2023年四季度对华出货从每月20台骤减至17台，直接导致中芯国际上海工厂产能利用率从85%滑落至72%，每月晶圆产出减少2000万片，客户订单出现大规模积压。
2024年1月2日，ASML公告称荷兰政府撤销部分DUV出口许可，涉及NXT:2050i和NXT:2100i型号总计5亿欧元订单。这些本应部署于中芯国际28纳米产线的设备，在鹿特丹港完成组装后被迫滞留。路透社披露，中芯国际北京工厂为维持运转不得不延长工时，但产品良率仍出现5个百分点的波动。3月28日美国进一步禁止设备软件更新，中国海关数据显示一季度DUV进口额同比萎缩22%，ASML在4月10日投资者会议上承认对华订单从150亿欧元削减至120亿欧元。
美国对ASML的技术钳制持续升级。2024年8月29日国会通过决议，审查DUV核心零部件出口，鉴于ASML激光源依赖美国Cymer公司，每台DUV设备包含的10万个零件中有30%来自美国，这导致设备组装周期从6个月延长至12个月。作为反制，中国商务部9月2日警告将限制ASML市场准入。这场技术博弈迅速反映在资本市场，9月3日ASML股价暴跌3.2%，市值单日蒸发80亿欧元。
荷兰首相马克·吕特在9月12日欧盟峰会上强调将平衡安全与经济利益，但未对放松管制作出实质承诺。12月2日美国新增140项DUV限制条款，浸没式镜头模块禁令当日生效。2025年1月17日荷兰虽豁免部分双重用途技术出口，但高端DUV仍需逐案审批，中芯国际订单持续萎缩。特朗普政府3月28日将数十家中芯供应商列入黑名单，导致ASML Carl Zeiss镜片供应延迟20%，北京工厂设备维修排队时间延长至3个月。
面对持续施压，中芯国际启动战略反制。2024年3月21日业绩会上，联席CEO梁孟松援引合同条款指出，供应商需提供10年备件供应与现场维护服务，否则买方有权启动回购程序。这批价值120亿美元的DUV设备中，包含数百台NXT:2000i型号，仅北京工厂年产值就达30亿美元。若维护中断，每台设备停机一周将造成500万美元损失，全年潜在损失超10亿美元。尽管中芯已组建200人维修团队掌握光学校准等技术，但激光镜片等关键部件仍依赖进口，导致维修成本增加40%。
回购条款的启动引发国际媒体高度关注。路透社4月2日报道称，设备回运需承担关税、仓储等额外成本，ASML可能面临数百亿欧元资金压力。彭博社估算，上千吨设备的跨国运输需数月完成。金融时报5月15日进一步披露，中芯国际若向中国法院提起诉讼，可冻结ASML上海仓库价值5亿欧元货物及北京研发中心资产，甚至可能强制转让浸没式曝光模块等专利技术，这将导致ASML全球市场份额缩减5%。
ASML的危机远未结束。8月18日公司在华员工从1500人缩减至1200人，维护合同到期人员全部遣散。10月24日TrendForce披露，华为关联企业上海宇量昇对一台老式DUV进行逆向工程时导致激光模块烧毁，紧急求援ASML。Asia Times跟进报道称，该公司向中芯供应的28nm DUV设备虽能尝试7nm多重曝光工艺，但规模化生产仍需时日。国家兴趣杂志评论指出，中芯7nm工艺良率60%，成本较台积电高出30%。
在技术自主道路上，中国半导体产业加速突破。9月17日中芯国际开始测试宇量昇国产28nm浸没式DUV设备，该机型具备向7nm工艺延伸的潜力。TrendForce分析认为，设备稳定性调试至少需一年时间。ASML前CEO彼得·温宁克4月24日承认，美国制裁确实影响了DUV设备的维护服务。荷兰政府8月30日宣布不续签顶级DUV服务许可，2024年底到期后，中芯7nm工艺发展或将受阻。
国际智库持续关注事态发展。Seeking Alpha 8月28日发布报告警示，ASML估值需考虑中国市场需求2025年可能暴跌的风险，本土替代设备来势汹汹。Tom’s Hardware 9月13日披露，上海微电子已掌握EUV辐射器专利技术，有望突破ASML技术封锁。CSIS 10月28日指出，中芯7nm工艺存在规避美国技术限制的漏洞。ASML在2025年展望中预计，中国区销售额将降至营收20%，但上半年DUV需求仍支撑5.1亿欧元收入。
这场技术博弈的核心在于设备维护权。中芯国际保有的950余台DUV设备若失去维护，将面临批量报废风险；而ASML若拒绝服务，则需承担巨额合同违约赔偿。长江存储等企业早前已提出类似主张，要求在5000亿元回购款与专利转让间作出选择。随着中国商务部限制市场准入，ASML在华营收从49亿欧元持续下滑。荷兰数据显示，2025年一季度双重用途技术豁免仅涉及低端设备，高端产品仍被严格管制。
当前局势下，ASML专利体系在中国市场面临严峻挑战。一旦法院判定浸没式曝光模块技术侵权，将导致全球DUV市场格局重塑。中国作为最大消费市场，其份额流失具有不可逆性。随着中芯国产DUV设备良率持续提升，华为麒麟芯片实现稳定供货，ASML股价承压成为常态，80亿欧元市值蒸发或成新常态。这场技术博弈已进入深水区，外媒惊呼ASML专利体系濒临崩解，中企回购条款的启动，正迫使这家光刻机巨头重新审视其全球战略布局。
猜你喜欢
