《科创板日报》11月5日讯（记者 郭辉）11月4日，西北地区首条8英寸硅光中试线正式通线，标志着陕西在硅光芯片领域迈出关键一步。这一成果不仅填补了区域硅光芯片中试领域的空白，更成为陕西“追光计划”实施以来的重要里程碑，为打造千亿级光子产业集群提供了核心支撑。
据《科创板日报》记者了解，该中试线由陕西光电子先导院建设，总投资7.5亿元，引进了比利时IMEC“130nm硅光芯片工艺包”，并配备了光刻、刻蚀等60余台（套）关键核心设备。在130nm有源集成硅光主工艺平台基础上，该平台还具备开发90nm以上先进工艺的能力。
陕西光电子先导院总经理杨军红表示，8英寸硅光平台的通线彻底补全了陕西在硅光芯片中试领域的短板。作为陕西“追光计划”的核心支撑平台，光电子先导院已累计投入约15亿元构建“6英寸化合物芯片+8英寸硅光芯片”双中试平台，服务了超过50家企业。
自2021年陕西“追光计划”启动以来，全省光子产业实现显著成长。行业企业数量攀升至370多家，产业规模从150亿元跃升至365亿元，初步构建起“材料—芯片—器件—系统”的完整产业链条。中国科学院西安光机所副所长付玉喜透露，陕西光子科技实验室今年8月顺利进入培育建设期，目标两年内攻克超30项光子领域关键核心技术，助推全省光子产业产值在2027年突破500亿元。
硅光技术作为AI算力、智能驾驶、量子通信等前沿领域的核心支撑，正处于技术突破与应用落地的关键期。然而，其产业发展长期受限于中试资源集中的困境。据Yole数据，约80%的光子技术停留在实验室阶段，无法实现量产，核心原因在于“工艺不稳定、成本不可控、可靠性不达标”。
杨军红介绍称，全球硅光中试资源多掌握在欧美企业手中，国内企业依托国外平台流片需支付高昂费用，且面临流片周期长、产能优先供给受限等问题。而自建产线则需巨额设备投入。中试平台集“工艺开发、原型试制、性能测试、可靠性验证、成本核算”于一体，将极大便利企业技术从实验室到产业落地的进程，降低研发及运营成本。
目前，陕西光电子先导院的平均流片周期仅为两周到一个月左右，快于量产线以及国内同类的中试线。此次8英寸硅光平台通线后，将与西安科学园的先进阿秒激光设施、光子传感园的产业化载体形成联动，为“追光计划”培育千亿级集群提供从基础研究、中试验证到量产落地的全链条支撑。
今年以来，包括湖北、上海、重庆等多地硅光产业发展均迎来重要发展节点。在上海，硅光未来产业集聚区“光启天地”在浦东新区正式启动建设，将搭建硅光概念验证平台，培育产业创新生态，加速硅光规模化应用。硅光已被列为上海11个重点未来产业之一，目标到2027年突破一批前沿颠覆性技术，加快培育硅光、6G、第四代半导体等领域。
在湖北，武汉国家信息光电子创新中心今年9月成功发布首套全国产化12寸硅光全流程套件，大幅缩短研发周期，降低制造成本。按照湖北省政府规划，到2025年将完成12英寸基础硅光流片工艺开发，形成国际领先的硅光晶圆代工和生产制造能力。
在重庆，光电子集成高端硅基晶圆制造中心项目今年4月封顶，总投资8.5亿元，设计月产能为3500片高端硅基晶圆，预计2025年底投产。项目达产后，预计带动上下游配套企业集聚形成百亿级产业生态圈。
杨军红表示，光子产业处于创新式加速发展的前期，中国的硅光市场足够大，各地的光子产业结合当地经济结构均有自身特色，因此目前处于协同并进的成长进程当中。陕西光子产业发展的突出模式，一是有围绕产业进行创新培育的完善基金矩阵，二是以光电子先导院为链主、纽带，推动光子产业链上中下游协同发展、融通创新。
据了解，光电子先导院由中国科学院西安光机所联合陕西省科技厅、西安市高新技术开发区、西科控股、中科创星共同发起成立，创新性地提出并打造了“公共平台+专项基金+专业服务”的光电子芯片创新服务生态。
陕西省今年新成立的科创母基金也进一步聚焦硅光产业。今年7月，陕西秦创原公司揭牌，首期100亿元规模的省级科创母基金、首期300亿元基金矩阵发布，标志着陕西科技金融赋能“三项改革”全面启动。其中的直投基金将聚焦光子强链、集成电路、高端设备等领域。秦创原公司目标到2027年底，形成千亿级科创基金矩阵，提供千亿级金融产品供给，培育千亿级战新产业集群。
随着西北首条8英寸硅光中试线的通线，陕西硅光产业正加速崛起，为全国光子产业发展注入新的活力。
猜你喜欢
