至纯科技28纳米湿法设备开发完成 斩获先进制程订单

财联社9月22日消息，国内半导体设备领域传来重大进展。据至纯科技在互动平台最新披露，其自主研发的28纳米节点湿法设备已全面完成开发工作，并成功斩获全工艺机台的批量订单，标志着公司在国产高端半导体设备领域迈出关键一步。

更值得关注的是，至纯科技在更先进的制程节点也取得突破性进展。公司透露，已在部分关键工艺环节获得订单，尤其在高温硫酸清洗、FINETCH刻蚀、单片磷酸处理等长期被国际巨头垄断的高端机台领域，不仅实现技术突破，更在设备交付和客户验证进度上保持国内领先水平。

业内人士分析指出，至纯科技此次技术突破具有双重战略意义：一方面，28纳米湿法设备的全面量产将有效填补国内该制程节点的设备空白；另一方面，在7纳米及以下先进制程的关键工艺设备上取得订单，显示公司已具备参与全球高端半导体设备竞争的实力。据公开资料显示，该公司近年来持续加大研发投入，在湿法清洗设备领域已形成完整的技术体系。